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隔膜真空泵應用技術

[導讀]文章介紹了隔膜真空泵對于微機電系統和真空微電子器件的真空封裝極具意義。從工作原理和工藝實現方面,分析了常見傳統真空泵實現微型化的可行性。天津市津騰實驗設備有限公司介紹了隔膜真空泵膜片泵、射流/擴散泵、努森泵和離子泵的微型化進展,并總結了當前存在的技術障礙。

結果表明,目前熱點研究的微型化真空泵已經可以構建從大氣狀態直至高真空的真空系統。雖然真空泵微型化后,其性能和工作穩定性相對傳統宏觀真空泵有較大降低,但具有低功耗、可集成優勢,對便攜式系統和高真空微系統十分必要。

天津津騰GM-0.5A隔膜真空泵產品特點:

1.無需任何工作介質(無油),不產生污染,同時本機氣體交換倉內置有過濾材料,從而保證了空氣的純凈。

2.生產過程中采用新技術和新材料。它移動方便,工作流暢,從而保證了理想的真空度和較高的空氣流速。

3.專用電機已通過歐盟CE認證,由專業電機制造商ODM提供,合理的轉動設計,裝有溫度保護器,在泵體溫度達到130℃后自動斷電,長期運轉情況下保護電機不受損壞。

4.采用無摩擦的膜體運動,不產生熱量,無摩擦損耗。膜片采用進口橡膠,耐腐蝕使用壽命長。

5.機體內設計有自動冷卻排風系統可保證24小時連續運轉。

6.采用壓力可調式設計,可滿足一定范圍內的真空度和氣體流速。

7.軸承采用進口軸承,運轉平穩,噪音低,工作效率高。

8.體積小、重量輕、移動方便、節省實驗室空間、方便維修和保養。

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